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晶圆内应力检测仪 SV200 应力瞬时测量，相位延迟测量度高，可高成像解析材料微小内部缺陷
具备化合物晶圆和蓝宝石晶圆内应力分布定量测量及缺陷定位筛查的功能，面向化合物晶圆籽晶筛选、长晶质量管控，晶圆加工工艺管控、晶圆成品质量管控等晶圆生产过程
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