晶圆厚度测量仪Wafer Thickness 划线扫描/固点扫描,可2D/3D成像 测量
具备晶圆厚度相关参数及翘曲参数的检测功能,适用于半导体晶圆生产、半导体制程工艺开发、晶圆厚度分拣等工艺制程。
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